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高NA EUV光刻系统

造价超21亿元!阿斯麦向英特尔交付首台高NA EUV光刻系统

造价超21亿元!阿斯麦向英特尔交付首台高NA EUV光刻系统

硬件 1096
     快科技12月22日消息,据媒体报道,荷兰半导体设备制造巨头阿斯麦(ASML)确认,向英特尔交付首台高数值孔径(NA)的极紫外(EUV)光刻系统。数值孔径是用来衡量光学系统能够收集的光的角度范围,通过增大数值孔径,可以实现更小的分辨率和更高的分辨能力,从而满足微细加工的要...