造价超21亿元!阿斯麦向英特尔交付首台高NA EUV光刻系统 硬件 2023-12-22 1096 快科技12月22日消息,据媒体报道,荷兰半导体设备制造巨头阿斯麦(ASML)确认,向英特尔交付首台高数值孔径(NA)的极紫外(EUV)光刻系统。数值孔径是用来衡量光学系统能够收集的光的角度范围,通过增大数值孔径,可以实现更小的分辨率和更高的分辨能力,从而满足微细加工的要... 阅读全文